[发明专利]一种改进型靶材炉设备及靶材邦定方法

摘要

一种改进型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的手动加压阀，炉体内部与外置的真空泵连通。本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；熟练工人靶材邦定的合格率达到100％。

主权项

一种改进型靶材炉设备，其特征在于：炉体(1)的一侧设置炉门(2)，炉体(1)内设置加热基台(3)，加热基台(3)内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台(3)上连接用于放置靶材(5)的靶材基板(4)，靶材基板(4)的正上方设置有加压板(6)，加压板(6)的上端连接位于炉体(1)外的手动加压阀(8)，炉体(1)内部与外置的真空泵(7)连通。