[发明专利]一种集成生长与测量的分子束外延生长系统在审
| 申请号： | 201710004428.7 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN106769889A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 徐永兵;黄大威;吴竞;何亮;刘文卿;陆显扬;张晓倩 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 集成生长与测量的分子束外延生长系统，包括分子束外延生长腔室、样品操纵杆、可倾斜的样品台、入射光、反射光、一对电磁铁、偏振片、检偏器、激光二极管、光电探测器、分子束外延的生长源；分子束外延生长腔室上设有一对视窗，这对视窗是分子束外延生长系统上激光入射光和出射光的高透明、对光低散射的视窗；原位磁光表征系统安装在分子束外延生长系统的腔室上；原位磁光表征系统包含产生S型线偏振光的激光二极管、调节线偏振光的起偏偏振片；所述起偏偏振片产生激光入射光射至样品表面，所述检偏器对出射光检偏；原位磁光表征系统包含光电探测器，探测器将出射光的信号输入到锁相放大器；样品台侧设有电磁铁。样品操纵杆与可倾斜的样品台固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 生长 测量 分子 外延 系统 | ||
【主权项】：
集成生长与测量的分子束外延生长系统，其特征是包括分子束外延生长腔室、样品操纵杆(2)、可倾斜的样品台(3)、入射光(4)、反射光(5)、一对电磁铁(6)、偏振片(7)、检偏器(8)、激光二极管(9)、光电探测器(10)、分子束外延的生长源；分子束外延生长腔室上设有一对视窗，这对视窗是分子束外延生长系统上激光入射光和出射光的高透明、对光低散射的视窗；原位磁光表征系统安装在分子束外延生长系统的腔室上；原位磁光表征系统包含产生S型线偏振光的激光二极管、调节线偏振光的起偏偏振片，原位磁光表征系统包含对样品表面反射回的椭偏光即出射光进行探测的检偏器；所述起偏偏振片产生激光入射光射至样品表面，所述检偏器对出射光检偏；原位磁光表征系统包含光电探测器，探测器将出射光的信号输入到锁相放大器；样品台侧设有电磁铁，电磁铁的磁性由电磁铁线圈的电流提供；样品操纵杆与可倾斜的样品台固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710004428.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
