[发明专利]一种基板加工设备及待加工基板的对位控制方法

摘要

本发明实施例提供一种基板加工设备及待加工基板的对位控制方法，涉及半导体技术领域。能够解决在基板加工设备对待加工基板进行对位时，由于对位标记反光性能较差，导致对位结果不准确的问题。基板加工设备包括载台，用于承载待加工基板，待加工基板上设有对位标记，对位标记为遮光材质。光源，设置于载台的一侧。图像传感器，设置于载台的另一侧。其中，光源用于朝向待加工基板发出光线，且光线经待加工基板到达图像传感器，以便图像传感器采集包含对位标记的图像；光源的照射区域至少将对位标记的外边缘包围在内。

主权项

一种基板加工设备，其特征在于，包括：载台，用于承载待加工基板，所述待加工基板上设有对位标记，所述对位标记为遮光材质；光源，设置于所述载台的一侧；图像传感器，设置于所述载台的另一侧；其中，所述光源用于朝向所述待加工基板发出光线，且所述光线经所述待加工基板到达所述图像传感器，以便所述图像传感器采集包含所述对位标记的图像；所述光源的照射区域至少将所述对位标记的外边缘包围在内。