[发明专利]三轴角加速度计有效
| 申请号： | 201710009802.2 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106950398B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张欣;张江龙 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及三轴角加速度计。本文描述了角加速度计以及采用这种加速度计的系统。角加速度计可以包括质量块和朝向质量块中心的旋转加速度检测梁。角加速度计可以具有对围绕三个正交轴的角加速度的感测能力。围绕三个轴之一的角加速度的感测区域比围绕其他两个轴的角加速度的感测区域在径向上可以更接近质量块中心。质量块可以通过一个或多个锚与基板连接。 | ||
| 搜索关键词： | 角加速度 | ||
【主权项】：
角加速度检测设备，包括：质量块，具有外边缘、内边缘和中心，所述外边缘界定出第一区域，所述内边缘位于在所述第一区域内并且界定出小于第一区域的第二区域，中心位于所述第二区域内；所述质量块还包括多个梁，所述多个梁固定在所述质量块的内边缘上并且朝着所述质量块的中心延伸。
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