[发明专利]清洗装置在审
| 申请号： | 201710011014.7 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106944402A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 小泽卓;横山俊夫;户川哲二 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;B08B1/02;B08B11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 清洗装置(1)具有加热单元(5)，其对基板(W)的清洗面进行加热；清洗单元(6)，其向基板(W)的清洗面供给臭氧水而对清洗面进行清洗；以及控制单元(7)，其对清洗面的加热和清洗液的供给进行控制，以使得在对基板(W)的清洗面进行了加热之后对清洗面进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，其特征在于，具有：加热单元，该加热单元对清洗对象物的清洗面进行加热；清洗单元，该清洗单元向所述清洗对象物的清洗面供给清洗液而对所述清洗面进行清洗；以及控制单元，该控制单元对所述清洗面的加热和所述清洗液的供给进行控制，以使得在对所述清洗面进行了加热之后对所述清洗面进行清洗。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710011014.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
