[发明专利]测量仪及测量方法

摘要

本发明提供了一种测量仪和一种测量方法，其中本发明提供的测量仪，包括光发生模块、光信号接收模块、光路系统、控制模块和空间光调制模块。该光发生模块产生入射光束并将该入射光束经该光路系统传输至该空间光调制模块和待测物体。该空间光调制器接收第一调制信号和该入射光束，产生第一调制光束，并将其射入该光路系统。该光路系统接收该第一调制光束和参考光束，并传输至该光信号接收模块。该光信号接收模块生成测量数据并传输至该控制模块。本发明提出的测量仪及测量方法，由于采用空间光调制器和迭代算法，可以完全确定待测物体的参数。因此，本发明提出的测量仪及测量方法，具有可测量任何类型表面，测量速度快，准确度高的特点。

主权项

1.一种测量仪，包括光发生模块、光信号接收模块和光路系统，其特征在于，还包括：控制模块和空间光调制模块；所述光发生模块产生入射光束并将所述入射光束输入所述光路系统；所述光路系统将所述入射光束传输至所述空间光调制模块和待测物体；所述空间光调制器接收来自所述控制模块的第一调制信号，和所述入射光束，产生第一调制光束，并将所述第一调制光束输入所述光路系统；所述光路系统接收所述第一调制光束和返回自所述待测物体的参考光束，并传输至所述光信号接收模块；所述光信号接收模块接收所述第一调制光束和所述参考光束，生成测量数据并传输至所述控制模块。