[发明专利]一种TFT玻璃蚀刻预处理液有效
| 申请号： | 201710013142.5 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN107043219B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请（专利权）人： | 天津美泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙) 12219 | 代理人： | 陈松 |
| 地址： | 300000 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种TFT玻璃蚀刻预处理液，其特征在于所述预处理液由以下组分组成：质量百分比含量10～20％的盐酸；质量百分比含量2％～5％的氢氟酸；质量百分比含量5～10％的聚乙二醇6000；质量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷及余量的水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft 玻璃 蚀刻 预处理 | ||
【主权项】：
1.一种TFT玻璃蚀刻预处理液，其特征在于所述预处理液的组成为以下处方之一：质量百分比含量10％的盐酸；质量百分比含量2％的氢氟酸；质量百分比含量5％的聚乙二醇6000；质量百分比含量0.5％的聚二甲基硅氧烷及余量的水；质量百分比含量20％的盐酸；质量百分比含量5％的氢氟酸；质量百分比含量10％的聚乙二醇6000；质量百分比含量1％的聚二甲基硅氧烷及余量的水；质量百分比含量10％的盐酸；质量百分比含量5％的氢氟酸；质量百分比含量10％的聚乙二醇6000；质量百分比含量0.5％的聚二甲基硅氧烷及余量的水；质量百分比含量20％的盐酸；质量百分比含量2％的氢氟酸；质量百分比含量5％的聚乙二醇6000；质量百分比含量1％的聚二甲基硅氧烷及余量的水。
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