[发明专利]一种化学机械研磨装置及化学机械研磨方法有效
| 申请号： | 201710014426.6 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108284383B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 史超;赵雪峰;贾海卫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种化学机械研磨装置和化学机械研磨方法，所述装置包括：研磨浆供给臂，所述研磨浆供给臂设置有研磨浆喷嘴，用以喷洒研磨浆至研磨垫；所述研磨浆供给臂上还设置有高压空气喷嘴，用以向所述研磨垫喷洒高压空气。采用本发明提供的化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法在进行化学机械研磨中通过在研磨前采用高压空气对残留在研磨垫表面的去离子水的去除，可改善研磨浆在研磨垫表面的均匀分布，从而提高化学机械研磨的均匀性；同时，有效减少研磨初期研磨浆喷洒至研磨垫表面形成均匀分布的时间，减少研磨浆用量，提高研磨速率，增加研磨浆料利用率，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：研磨浆供给臂，所述研磨浆供给臂设置有研磨浆喷嘴，用以喷洒研磨浆至研磨垫；所述研磨浆供给臂上还设置有高压空气喷嘴，用以向所述研磨垫喷洒高压空气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710014426.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半自动小型涡流式研磨机
- 下一篇：研磨装置
