[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法有效
| 申请号： | 201710015069.5 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN106637074B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王徐亮;李伟丽;甘帅燕 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED基板及测量蒸镀像素偏位的方法，通过在OLED基板上设置标记；蒸镀掩膜板的掩膜片上设置有第一开口，所述第一开口用于蒸镀单色像素，蒸镀掩膜板的支撑掩膜上设置有第二开口，所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口，所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记，由此通过所述蒸镀掩膜板执行蒸镀工艺时，蒸镀的单色像素将同时形成于所述标记上，由此通过测量蒸镀的单色像素与所述标记之间的偏移即可得到蒸镀像素的偏移情况。通过该方法获取蒸镀像素的偏移情况无需特别制作母玻璃板，从而降低了成本；此外，能够实际监控蒸镀过程中每块OLED基板对应像素的偏移情况，准确反应实时蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜板 oled 测量 像素 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩膜板，用以在OLED基板上蒸镀单色像素，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括：框架、固定于所述框架上的掩膜片及固定于所述框架上的支撑掩膜；其中，所述掩膜片包括有源区和过渡区，所述过渡区上设置有第一开口，所述第一开口用于蒸镀单色像素；所述支撑掩膜上设置有第二开口，所述第二开口在所述掩膜片上的投影覆盖所述第一开口，所述第二开口在所述OLED基板上的投影覆盖所述OLED基板上的标记；所述支撑掩膜的固定区设置有标识，所述标识用以标示蒸镀颜色。
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