[发明专利]以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置有效
| 申请号： | 201710022509.X | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN107064081B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李汪洋;詹明哲;陈香凝 | 申请（专利权）人： | 微采视像科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种以多光子激发技术检查物体的方法以及测量物体的装置。该检查物体的方法包括：提供包括一标靶材料的物体。对物体的一试样位置照射一激光光束，激光光束具有波长λ。聚焦激光光束的一焦点于物体的试样位置上，通过同时吸收n个激光光束的入射光子而产生标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2。以一检测器分析自物体发出的一输出光，其中分析的输出光的波长范围在0.8λ至1.2λ之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 激发 技术 检查 物体 方法 以及 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检查物体的方法，包括：提供包括一标靶材料(target material)的该物体；对该物体的一试样位置(sampling position)照射一激光光束，该激光光束具有波长λ；聚焦该激光光束的一焦点(focal point)于该物体的该试样位置上，通过同时吸收n个该激光光束的入射光子而产生该标靶材料的分子激发，其中n等于或大于2；以及以一检测器分析自该物体发出的一输出光(output light)，包括：以该检测器检测该输出光的一光强度，以获得该激光光束于波长范围0.8λ至1.2λ的入射光子的一光强度损失，且该光强度损失是因多光子的吸收效应所致。
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