[发明专利]一种具有垂直交换偏置效应的双层钙钛矿锰氧化物薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710022885.9 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106910821A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 赵旭;彭勃;蔡文辉;陈伟 | 申请（专利权）人： | 河北师范大学 |
| 主分类号： | H01L43/10 | 分类号： | H01L43/10;H01L43/12 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 050024 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有垂直交换偏置效应的单相双层钙钛矿锰氧化物薄膜材料，其分子式为Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7。该薄膜具有本征的垂直交换偏置效应。其制备方法包括以下步骤（1）采用溶胶‑凝胶法制备所需要的Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7靶材；（2）采用脉冲激光沉积技术在（111）晶向的Pt/Ti/SiO2/Si基片上沉积Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7薄膜，沉积温度为750℃，沉积氧压为20Pa，激光电压为18.0KV，沉积速率为3HZ。通过改变沉积次数可以制备不同厚度的薄膜。本发明制备方法简单、可工业化推广，在信息存储领域具有一定的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 垂直 交换 偏置 效应 双层 钙钛矿锰 氧化物 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有垂直交换偏置效应的双层钙钛矿锰氧化物薄膜，其特征在于其分子式为：Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7。
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