[发明专利]一种三维环磁偶极器件及制备方法

摘要

本发明公开了一种三维环磁偶极器件及制备方法，涉及三维环磁偶极器件技术领域。所述三维环磁偶极器件由多个结构单元阵列形成。每一结构单元包括自支撑绝缘介质薄膜、悬空部和金属开口谐振环。自支撑绝缘介质薄膜用于作为支撑基础。悬空部由自支撑绝缘介质薄膜切割折叠而成，数量为偶数且不少于四个。对应的悬空部与自支撑绝缘介质薄膜之间形成角度。金属开口谐振环的数量与悬空部的数量相等，一一对应的设置于悬空部的侧表面，用于束缚磁场，产生磁偶极。磁偶极首尾相连形成一个闭合环路，用于实现环磁偶极共振。采用本发明的三维环磁偶极器件，具有尺寸小、共振频率高、品质因子高、可控性好、成本低、可大面积制备等特点。

主权项

一种三维环磁偶极器件，由多个结构单元阵列形成，每一结构单元包括：自支撑绝缘介质薄膜，用于作为支撑基础；悬空部，由所述自支撑绝缘介质薄膜切割折叠而成，数量为偶数且不少于四个，固定于所述自支撑绝缘介质薄膜的同一侧面，对应的悬空部与所述自支撑绝缘介质薄膜之间形成角度；和金属开口谐振环，数量与所述悬空部的数量相等，一一对应的设置于悬空部的侧表面，用于束缚磁场，产生磁偶极，所述磁偶极首尾相连形成一个闭合环路，所述闭合环路用于实现环磁偶极共振。