[发明专利]微型流体控制装置在审
申请号: | 201710025959.4 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN108302015A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 廖家淯;陈世昌;黄启峰;韩永隆 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种微型流体控制装置,包括:一进气板;一共振片,具有一中空孔洞;一压电致动器;一集气板,具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔,凹置槽面具有一深度,可供压电致动器、共振片及进气板依序堆叠容置组装定位其中,而凹置槽面底部凹置形成一集气腔室,透过贯穿孔与基准表面连通,且集气腔室受压电致动器承载于上方而封闭;其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室,该压电致动器受驱动时,气体由该进气板进入,流经该共振片,以进入该暂存腔室内再传输至集气腔室,透过贯穿孔排出集气板外,以持续传输气体。 | ||
搜索关键词: | 压电致动器 集气腔室 凹置槽 共振片 进气板 基准表面 控制装置 微型流体 贯穿孔 集气板 暂存腔 传输气体 间隙形成 依序堆叠 组装定位 空孔洞 穿孔 排出 容置 振片 连通 承载 室内 传输 驱动 封闭 | ||
【主权项】:
1.一种微型流体控制装置,其特征在于,包括:一进气板;一共振片,具有一中空孔洞;一压电致动器;一集气板,具有一凹置槽面、一基准表面及一贯穿孔,该凹置槽面具有一深度,可供该压电致动器、该共振片及该进气板依序堆叠容置组装定位其中,而该凹置槽面底部凹置形成一集气腔室,透过该贯穿孔与该基准表面连通,且该集气腔室受该压电致动器承载于上方而封闭;其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一暂存腔室,该压电致动器受驱动时,气体由该进气板进入,流经该共振片,以进入该暂存腔室内再传输至该集气腔室,透过该贯穿孔排出该集气板外,以持续传输气体。
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