[发明专利]一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器

摘要

一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器，包括补偿装置和安装底座；补偿装置包括三组固定块、末端执行器、三个位移驱动装置和三组分别连接于各固定块和末端执行器之间的三条柔性支链，固定块固定于安装底座；三个固定块以环形阵列的方式设置在末端执行器周围，柔性支链两端分别通过铰链铰接于末端执行器和固定块；位移驱动装置约束于固定块，位移驱动装置端部通过螺钉固定于第一杠杆尾段。三组柔性支链构成的传动装置具有放大效果，可以将位移驱动装置微小的位移输出放大成更大的位移，从而驱动末端执行器具有更大的操作调整空间，使驱动装置产生的位移量能快速地通过柔性支链传递到末端执行器。

主权项

一种柔性铰链导向的XYθ平面三自由度精度补偿器，其特征在于：包括补偿装置和安装底座；所述补偿装置包括三组固定块、末端执行器、三个位移驱动装置和三组分别连接于各所述固定块和末端执行器之间的三条柔性支链，所述固定块固定于所述安装底座；所述末端执行器呈三角形块状，三个所述固定块以环形阵列的方式设置在所述末端执行器周围，三个所述固定块的内端面分别对应于所述末端执行器的三个端面；每个所述柔性支链两端分别通过铰链铰接于所述末端执行器和所述固定块，所述柔性支链包括第一杠杆和第二杠杆，所述第一杠杆与第二杠杆之间呈八十五度到九十五度的夹角，所述第二杠杆一端通过铰链铰接于所述末端执行器；所述第一杠杆的尾段通过铰链铰接于一个所述固定块的外端面的左边部分，所述第二杠杆通过铰链铰接于所述第一杠杆前段，所述第二杠杆位于所述固定块右端面；每个所述位移驱动装置分别约束于一个所述固定块，所述位移驱动装置端部通过螺钉固定于所述第一杠杆尾段；所述末端执行器的三个侧端面均设有凸块，所述凸块均位于所述末端执行器侧端面的右边，所述凸块的外侧壁与相邻的末端执行器侧面为圆角过渡；所述凸块的正端面朝向所述第二杠杆，所述第二杠杆一端通过铰链铰接于第一杠杆的前段，所述第二杠杆另一端通过铰链铰接于所述凸块的正端面。