[发明专利]一种立体光栅测角传感器装置

摘要

本发明涉及一种立体光栅测角传感器装置，由上端面光栅、侧面光栅和下端面光栅组成，并且可以任意组合，侧面光栅可由一个或多个构成；端面刻线与侧面刻线和多个侧面刻线都可采用对齐刻划或非对齐刻划方式；同一端面或侧面的刻线疏密程度可不同；读数头布局可选用均匀分布或分散式分布的形式，且可根据轴系误差，确定端面光栅和侧面光栅的个数和读数头布局；端面和侧面光栅分布的读数头间的距离可根据使用要求任意调节。本发明实现了灵活布置读数头，消除高阶次误差，全面抑制轴系误差，突破测角传感器尺寸和精度难以调和的制约。

主权项

一种立体光栅测角传感器装置，其特征在于：包括端面光栅和侧面光栅，端面光栅包括上端面光栅和下端面光栅，并且端面光栅和侧面光栅能够根据实际需求任意组合，从而构成立体光栅测角传感器；所述端面和侧面光栅均有读数头，所述侧面光栅由一个或多个构成，所述端面光栅由一个或多个构成。