[发明专利]具有扩散截止通道的微机械构件有效
| 申请号： | 201710032426.9 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN106976839B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;G01P3/26;G01P15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，罩与衬底包围第二空穴，第二空穴中存在第二压力且包含具有第二化学组分的第二气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，第四方法步骤中，构造布置在第一空穴与第二空穴之间的空隙，用于排出第一气体混合物的第一微粒类型和/或第二气体混合物的第二微粒类型。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 扩散 截止 通道 微机 构件 | ||
【主权项】：
用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)中或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，设定在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)的或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，‑在第四方法步骤(104)中，构造基本上布置在所述第一空穴(5)与所述第二空穴之间的空隙(1501)，用于排出所述第一气体混合物的至少一种第一微粒类型(A)和/或所述第二气体混合物的至少一种第二微粒类型(B)。
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