[发明专利]一种气相沉积法制备纳米多孔镁的方法

摘要

本发明提供一种气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，属于金属纳米材料制备技术领域。该方法以工业用镁粉作为原料，在低真空、辅助气体下，加热到一定温度进行蒸发，然后在较低温度的不锈钢网基底上沉积，最终得到羽毛状纳米多孔镁。制备得到的羽毛状纳米多孔镁由羽毛状纳米结构与多级孔隙构成。其中，孔隙有孔径为3.3~9.4μm的微米孔和孔径为385nm的纳米孔两种。该方法具有工艺简单，制备时间短，成本低廉，收得率高等优点。

主权项

1.一种气相沉积法制备纳米多孔镁的方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)将镁粉置于不锈钢沉积室底部，再将不锈钢网基底置于不锈钢沉积室中镁粉上方110～130mm处；将不锈钢沉积室垂直放入石英管底部；将石英管垂直放入加热炉中，使不锈钢沉积室的底部位于加热炉的加热中心区；(2)将石英管用波纹管连接到机械泵；同时将通气管道插入石英管内部，在沉积过程中保证通气管道在不锈钢沉积室的内部，在不锈钢网基底的上方，且通气管道不接触不锈钢网基底；(3)打开机械泵，将石英管抽至10‐1Pa；通过通气管道通入乙醇蒸汽，使石英管内真空度维持在10‐1～20Pa之间；(4)加热炉开始加热，待加热到540～600℃后，镁粉蒸发，保持200～300℃下沉积1～6h，然后停止加热；关闭机械泵，停止通入乙醇蒸汽；将石英管从加热炉中移出，空冷至室温；(5)打开石英管与波纹管连接处的法兰，将不锈钢沉积室取出，取出其中的不锈钢网基底与沉积物，沉积物即为纳米多孔镁。