[发明专利]用于沉积钝化膜的设备和用于沉积钝化膜的方法

摘要

本发明涉及一种用于沉积钝化膜的设备和一种用于沉积钝化膜的方法，其在单个腔室中沉积层压有多个材料层的钝化膜。所述用于沉积钝化膜的设备，包含衬底支撑件，衬底通过衬底支撑件支撑；线性沉积模块部件，其包括与第一轴方向平行安置的线性沉积源，且线性沉积模块部件横越衬底并且在其上沉积钝化膜；气体供应部件，其向线性沉积模块部件选择性并且交替地供应第一沉积气体和第二沉积气体；驱动部件，其在与第一轴方向交叉的第二轴方向移动衬底支撑件或线性沉积模块部件，其中可通过层压由第一沉积气体沉积的第一材料层和由第二沉积气体沉积的第二材料层形成钝化膜。

主权项

一种用于沉积钝化膜的设备，其特征在于，包括：衬底支撑件，衬底通过所述衬底支撑件支撑；线性沉积模块部件，其包括与第一轴方向平行安置的线性沉积源，且所述线性沉积模块部件横越所述衬底并且在所述衬底上沉积所述钝化膜；气体供应部件，其向所述线性沉积模块部件选择性并且交替地供应第一沉积气体和第二沉积气体；驱动部件，其在与所述第一轴方向交叉的第二轴方向移动所述衬底支撑件或所述线性沉积模块部件，其中通过层压由所述第一沉积气体沉积的第一材料层和由所述第二沉积气体沉积的第二材料层形成所述钝化膜。