[发明专利]一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统在审
| 申请号： | 201710033379.X | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106842822A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李文君;王作斌;梁铂坚;曹亮;董莉彤;宋正勋;翁占坤;许红梅 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人： | 杨学明,顾炜 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，包括大功率激光器、分光系统、波片和偏振片，其特征在于激光干涉纳米光刻系统将二束光相干涉，根据植入位置的不同，控制干涉光束参数，利用二光束激光干涉产生的凹槽图案直接加工钛合金种植体表面，形成特征尺寸为100nm至20μm可调的凹槽结构，改变材料表面的几何形貌及粗糙度，提高钛合金种植体与骨的生物机械结合性能，引导成骨细胞趋化，提高种植体的生物相容性，实现一步织构化改性钛合金种植体表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一步 织构化 改性 钛合金 种植 体表 激光 干涉 纳米 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一步织构化改性钛合金种植体表面的激光干涉纳米光刻系统，其特征在于：包括激光器、分光系统、波片和偏振片镜组，分光系统包括分光镜和高反镜：激光器发出的一束激光，经分光系统分成二束相干光束，通过设计分光系统中分光镜和高反镜的位置和角度，使入射角θ1＝θ2＝θ，空间角通过波片和偏振片镜组，控制各相干光束的光强能量密度和偏振态，使光强能量密度比为1:1，偏振态为TE‑TE，二个相干光束实现干涉，直接在钛合金种植体表面刻蚀出特征尺寸为100nm至20μm可调的凹槽结构。
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