[发明专利]一种大尺度自支撑铍薄膜的制备方法及装置有效
| 申请号： | 201710037031.8 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106544629B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李恺;吴卫东;罗炳池;罗江山;张吉强;谭秀兰;李文琦;金雷;何玉丹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) 51235 | 代理人： | 邓昉 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺度自支撑铍薄膜的制备方法及装置，依次包括以下步骤：在基片表面上沉积NaCl薄膜衬底；在NaCl薄膜衬底表面上沉积铍薄膜，形成“NaCl+Be”复合薄膜；将“NaCl+Be”复合薄膜进行自然时效；然后进行脱膜处理，即得；本发明提供的自支撑铍薄膜制备方法有很多明显的优点，以“基片+NaCl薄膜”作为衬底，可以避免直接采用可溶性衬底带来的缺点；采用自然时效及精细化脱膜工艺，以降低铍薄膜内应力和脱膜液体表面张力；通过以上方法克服了金属铍的极大脆性，可制备最大尺寸达数十毫米、厚度介于1μm‑10μm的自支撑铍薄膜，而且所得的自支撑铍薄膜质量优良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 支撑 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种大尺度自支撑铍薄膜的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：(a)在基片表面上沉积NaCl薄膜衬底；(b)在步骤（a）得到的NaCl薄膜衬底表面上沉积铍薄膜，形成“NaCl+Be”复合薄膜；(c)将步骤（b）得到的“NaCl+Be”复合薄膜进行自然时效；(d)将步骤（c）时效后的“NaCl+Be”复合薄膜进行脱膜处理，即得到自支撑铍薄膜。
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