[发明专利]开沟槽结合坝装置及其制造方法

摘要

提供一种开沟槽结合坝装置以及相应的制造方法。开沟槽结合坝装置包括位于基板的顶部表面上的结合坝结构。结合坝结构具有附接至基板的顶部表面的底部表面、由外坝围绕的内坝以及位于内坝和外坝之间的沟槽。装置进一步包括光学系统和粘合剂，光学系统具有透镜，粘合剂位于介于光学系统的底部表面和内坝与外坝中的至少一个的顶部表面之间的结合区域内。沟槽被加工成一定尺寸以在将基板结合至光学系统期间接收从结合区域侧向流出的一部分多余粘合剂，从而侧向地限制多余粘合剂并且降低粘合剂的侧向渗出。

主权项

一种用于组装开沟槽结合坝装置的方法，其特征在于，包括：将结合坝结构附接在基板的顶部表面上，所述结合坝结构具有(i)附接至基板的顶部表面的底部表面，(ii)由外坝围绕的内坝，以及(iii)位于所述内坝和所述外坝之间的沟槽；将光学系统相对于基板上的基板元件对准，所述光学系统具有透镜；以及将对准的基板和光学系统彼此结合，所述光学系统的底部表面与内坝和外坝中的至少一个的顶部表面相联接。