[发明专利]彩色太阳能电池片、制备方法、电池组件以及PECVD设备

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及太阳能电池片及组件的制备技术领域，具体公开了一种彩色太阳能电池片的制备方法，以及由该方法制得的彩色太阳能电池片、和包含该彩色太阳能电池片的彩色太阳能电池组件。本发明还公开了一种用于镀彩色膜的PECVD设备，通过改进PECVD的特气管路，采用不同特气流量、且流量可调的错位特气管路，在晶体硅片正面沉积不同厚度的氮化硅减反射膜，能够制得片内具有不同颜色的彩色太阳能电池片，电池片内颜色可按设计定制，外观效果好，具有操作简单，生产效率高的优点。

主权项

1.一种彩色太阳能电池片的制备方法，在硅片上制备氮化硅减反射膜的过程中，采用化学气相沉积法，将硅片正面向上经传送通过沉积室，在所述沉积室内硅片的上方，沿硅片传送方向设有水平排列的多组垂直于所述传送方向的特气管路，所述特气管路上设有均匀分布的特气孔，用于向所述沉积室内通入原料气，并于硅片正面沉积氮化硅减反射膜，其特征在于：所述特气管路中包括至少两组相邻的特气管路为彩色镀膜特气管路，其余组特气管路为均匀镀膜特气管路，所述彩色镀膜特气管路中的每组特气管路均由至少两个管段顺序排列构成，相邻管段向所述沉积室内通入原料气的流量不同且可调，镀膜时，每个硅片的镀膜面上方对应于彩色镀膜特气管路内每组特气管路的至少两个相邻管段，使得所述硅片经过所述彩色镀膜特气管路下方后，硅片片内不同区域沉积不同厚度的氮化硅减反射膜，使制得的电池片表面呈现出不同颜色；所述彩色镀膜特气管路内不同组特气管路间管段为错位布置；所述彩色镀膜特气管路包括两组特气管路，分别命名为第n组特气管路和第n+1组特气管路，其均由相同个数等长度的管段构成，所述第n组特气管路的第x管段和第x+1管段分别与所述第n+1组特气管路的第x’管段和第x’+1管段错位布置，且第x+1管段与所述第x’管段沿硅片传送方向有重叠区，镀膜时，通过调整所述第x管段和第x+1管段、第x’管段和第x’+1管段的原料气流量，使通过所述第x管段和第x+1管段、第x’管段和第x’+1管段下方的一硅片片内三个平行区域沉积不同厚度的氮化硅减反射膜，所述硅片片内三个平行区域，分别命名为a区、b区和c区，所述a区的颜色由所述第x管段和第x’管段的原料气流量控制，所述b区的颜色由所述第x+1管段和第x’管段的原料气流量控制，所述c区的颜色由所述第x+1管段和第x’+1管段的原料气流量控制；其中x＝x’,且n为大于或等于3的自然数，x为大于或等于1的自然数。