[发明专利]一种制备亲疏图案的光刻方法有效
| 申请号： | 201710044839.9 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN107065444B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 朱艳青;徐刚;史继富 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 蒋欢妹;莫瑶江 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备亲疏图案的光刻方法，包括以下步骤：首先在基底上涂覆或喷涂带有图案的图案连接层，其次涂覆、喷涂或旋涂表面涂层，最后由紫外光或太阳光或可见光或红外光进行照射，得到亲疏图案；所述的基底的材料选自玻璃、金属、合金、不锈钢、墙体、纸张、棉织物中的任一种；所述的图案连接层为具有图案的有机硅胶或硅氧烷；所述表面涂层为尺寸为10nm～10μm微纳二氧化钛颗粒或表面修饰有低表面能物质的微纳二氧化钛颗粒。本发明不需要光掩模，制备方法简单，扩大了光刻技术的使用范围，并且节省了能源，并可以制备任意尺寸的图案，实现低表面能物质的自供应，从而延长了其使用寿命，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 亲疏 图案 光刻 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备亲疏图案的光刻方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：首先在基底上涂覆一层带有图案的图案连接层，其次涂覆一层表面涂层，最后由紫外光或太阳光或可见光或红外光进行照射，得到亲疏图案；所述的基底的材料选自玻璃、金属、墙体、纸张、棉织物中的任一种；所述的图案连接层为具有图案的有机硅胶或硅氧烷；所述表面涂层为尺寸为10nm～10μm微纳二氧化钛颗粒或表面修饰有低表面能物质的微纳二氧化钛颗粒；所述的低表面能物质为氟硅烷或硅氧烷。
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