[发明专利]磨抛夹具有效

专利信息
申请号: 201710048549.1 申请日: 2017-01-20
公开(公告)号: CN106695554B 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 孔金霞;刘素平;马骁宇 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: B24B41/06 分类号: B24B41/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张宇园
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种磨抛夹具,包括:限位柱套、N个固定柱和M个限位柱;限位柱套的内部开有N个贯穿限位柱套的固定孔;N个固定柱分别安装在所述固定孔中,其直径与所述固定孔的直径相匹配,并可在所述固定孔内上下滑动和自由转动;所述固定柱下方设置至少三个限位柱,其中,所述限位柱设置在相应固定柱的下端平面上,其延伸方向与固定柱的下端平面垂直;其中,磨抛产品夹设于其中之一的固定柱下方至少三个限位柱之间。该磨抛夹具可以根据单管芯激光二极管的尺寸变化自由调节,使用简单方便;该磨抛夹具还可以对多个磨抛产品同时进行磨抛,磨抛效率高,并且可以达到很好的磨抛均匀性。
搜索关键词: 夹具
【主权项】:
1.一种磨抛夹具,其特征在于,包括:限位柱套(2),其内部开有N个贯穿限位柱套(2)的固定孔(7);N个固定柱(8),分别安装在所述固定孔(7)中,其直径与所述固定孔(7)的直径相匹配,并可在所述固定孔(7)内上下滑动和自由转动;M个限位柱(10),每个固定柱(8)下方设置至少三个限位柱(10);其中,所述限位柱(10)设置在相应固定柱(8)的下端平面(9)上,其延伸方向与固定柱(8)的下端平面(9)垂直;其中,磨抛产品(11)夹设于其中之一的固定柱(8)下方的至少三个限位柱(10)之间。
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