[发明专利]设备供水温度控制装置及控制方法有效
| 申请号： | 201710049197.1 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108334124B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 代小磊;罗晋;余斌;蔡烨平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种设备供水温度控制装置及控制方法，该装置包括供水单元，用于提供冷却水；温度控制单元，用于探测所述供水单元提供的冷却水的温度，并根据用水设备单元的用水需求，调制温度，为所述用水设备单元提供精确温控的循环水，还包括混流匀温单元，设置于所述供水单元与所述温度控制单元之间，用于对所述供水单元提供的冷却水进行匀化处理。本发明能够在厂务系统不够优良的情况下，通过混流匀温单元的接入，避免温度骤变作为外部干扰因素而影响温度控制单元的换热过程，从而保证温度控制单元的控温精度，以提高温度控制单元对恶劣厂务条件的适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 供水 温度 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种设备供水温度控制装置，其特征在于，包括供水单元，用于提供冷却水；温度控制单元，用于探测所述供水单元提供的冷却水的温度，并根据用水设备单元的用水需求，调制温度，为所述用水设备单元提供精确温控的循环水，还包括混流匀温单元，设置于所述供水单元与所述温度控制单元之间，用于对所述供水单元提供的冷却水进行匀化处理。
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