[发明专利]一种防尘表面的制备方法有效
申请号: | 201710049332.2 | 申请日: | 2017-01-23 |
公开(公告)号: | CN107058980B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 宗坚 | 申请(专利权)人: | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人: | 梅洪玉 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种防尘表面的制备方法,属于等离子化学气相沉积技术领域,该方法中,将基材置于反应腔体内,连续抽真空,通入惰性气体或氮气;通入单体蒸汽进行化学气相沉积,制备致密涂层;致密涂层沉积完成后,调节等离子体放电的功率进行化学气相沉积,制备粗糙涂层;在基材表面上制备内层为致密涂层、外层为粗糙涂层的防尘表面;通入的单体蒸汽成分为至少一种单官能度不饱和氟碳树脂和至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物,所述单体蒸汽中多官能度不饱和烃类衍生物所占的质量分数为10%‑80%。本发明通过等离子体化学气相沉积技术在基体表面沉积一层微纳米结构的低表面能氟碳树脂,来降低材料表面能以及接触面积,达到抑制尘埃吸附堆积的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 防尘 表面 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种防尘表面的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内,对反应腔体连续抽真空,将反应腔体内的真空度抽到10‑200毫托,通入惰性气体或氮气;(2)通入单体蒸汽到真空度为30‑300毫托,开启等离子体放电,等离子体放电的功率为2~150W,放电时间为600~7200s,进行化学气相沉积,制备致密涂层;致密涂层沉积完成后,调节等离子体放电的功率为160~500W,放电时间为60~1000s,进行化学气相沉积,制备粗糙涂层;在基材表面上制备内层为致密涂层、外层为粗糙涂层的防尘表面;所述步骤(2)中通入的单体蒸汽成分为:至少一种单官能度不饱和氟碳树脂和至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物,所述单体蒸汽中多官能度不饱和烃类衍生物所占的质量分数为10%‑80%;(3)停止等离子体放电,停止通入单体蒸汽,持续抽真空,保持反应腔体真空度为10‑200毫托1‑5min后通入大气至一个大气压,然后取出基材即可;所述单官能度不饱和氟碳树脂包括:3‑(全氟‑5‑甲基己基)‑2‑羟基丙基甲基丙烯酸酯、2‑(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2‑(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2‑(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2‑全氟辛基丙烯酸乙酯、、1H,1H,2H,2H‑全氟辛醇丙烯酸酯、2‑(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2H‑全氟丙基)‑2‑丙烯酸酯、(全氟环己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3‑三氟‑1‑丙炔、1‑乙炔基‑3,5‑二氟苯或4‑乙炔基三氟甲苯;所述多官能度不饱和烃类衍生物包括:乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6‑己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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