[发明专利]TFT减薄抛光用吸附垫

摘要

本发明涉及TFT减薄抛光用吸附垫，所述吸附垫从下到上依次设有离型纸、双面胶、PET膜、双面胶、含氟聚氨酯多孔膜以及保护膜；所述含氟聚氨酯多孔膜从上到下依次是表面吸附层、第一发泡层、第二发泡层、第三隔离层以及第四发泡层，所述表面吸附层为致密层；所述第一发泡层以及第二发泡层均为水滴形多孔状结构，所述第二发泡层的水滴形孔大于第一发泡层的水滴形孔；由本发明提供的TFT减薄抛光用吸附垫具有较强的疏水性，能够减缓抛光液的渗透，能很好地将抛光盘摩擦产生的热量散去，使研磨吸附垫的使用寿命到达220‑240小时，比使用先前已知的聚氨酯树脂组合物制备的TFT减薄抛光用吸附垫使用寿命延长了25‑35小时。 1

主权项

1.TFT减薄抛光用吸附垫，其特征在于：所述吸附垫从下到上依次设有离型纸、双面胶、PET膜、双面胶、含氟聚氨酯多孔膜以及保护膜；所述含氟聚氨酯多孔膜从上到下依次是表面吸附层、第一发泡层、第二发泡层、第三隔离层以及第四发泡层，所述表面吸附层为致密层；所述第一发泡层以及第二发泡层均为水滴形多孔状结构，所述第二发泡层的水滴形孔大于第一发泡层的水滴形孔；所述第四发泡层为平均孔径在200‑400μm的椭圆形多孔状结构，所述第三隔离层为孔径2‑20μm的圆形微米孔形成的网状孔结构；所述吸附垫的加工工艺，步骤如下：1）将PET膜通过双面胶进行粘贴在含氟聚氨酯多孔膜的下方；2）将含氟聚氨酯多孔膜放置在滚筒式热压机中，并对含氟聚氨酯多孔膜的上方进行热压；将热压后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加热装置中进行加热10‑15秒，将保护膜进行加热，并将保护膜通过热压20‑40秒，并将保护膜热压至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜复合板；3）将含氟聚氨酯多孔膜复合板裁切成一定的尺寸；4）将含氟聚氨酯多孔膜复合板表面进行加工、剪裁，得到研磨层加工板；5）将离型纸通过双面胶进行粘贴在含氟聚氨酯多孔膜复合板的下端，即得到吸附垫半成品；6）将吸附垫半成品的边缘进行裁切，并将多余部分去除，得到TFT减薄抛光用吸附垫。