[发明专利]真空压力控制装置

摘要

本发明提供真空压力控制装置，使得即使弹性密封部件劣化也不会发生内部泄漏。真空压力控制装置(1)具有：形成有阀座(7a)的环状弹性密封部件(7)；和与阀座(7a)抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯(9)，该真空压力控制装置位于连接真空容器(27)与真空泵(28)的配管上，并通过使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)旋转来使真空容器(27)内的真空压力变化，该真空压力控制装置(1)具有控制基板(13)，该控制基板(13)使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)的反方向(F)旋转，使蝶阀阀芯(9)位于与初始的第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

主权项

1.一种真空压力控制装置，具有：形成有阀座的环状弹性密封部件；和与所述阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，所述真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使所述蝶阀阀芯从作为初始状态的第一闭阀位置沿第一方向旋转来使所述真空容器内的真空压力变化，所述真空压力控制装置的特征在于，具有控制装置，在密封性降低的情况下，所述控制装置使所述蝶阀阀芯沿第一方向的反方向旋转，使所述蝶阀阀芯位于与所述第一闭阀位置不同的第二闭阀位置，其中，当所述蝶阀阀芯处于所述第一闭阀位置时，所述蝶阀阀芯和所述弹性密封部件之间的接触面位于距弹性密封部件的端面第一距离处，且当所述蝶阀阀芯处于第二闭阀位置时，所述蝶阀阀芯和所述弹性密封部件之间的接触面位于距所述弹性密封部件的端面第二距离处，且所述第二距离大于所述第一距离。