[发明专利]一种直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法

摘要

本发明提供了一种直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法，涉及曝光机领域，在直写曝光设备的吸盘上加装四个标准标记点，在曝光设备的运行工作时间超过预设时间后，通过曝光设备上的高精度相机CCD，分别抓取其中三个标记点的坐标，通过坐标点计算出直写曝光设备X方向与Y方向的正交性误差，根据正交性误差自动计算出直写曝光设备在X方向与Y方向的两个补偿系数，并自动实时监测以及校正曝光设备的正交性。与现有技术相比，该正交性实时监测及校正方法，通过直接在直写曝光设备吸盘上加装标准标记点，不需要依赖于图像精度很高的底片，自动实时监测以及校正直写曝光设备的正交性，大大缩短设备维护时间，减少维护成本，并提高效率。

主权项

1.一种直写曝光设备的正交性实时监测及校正方法，其特征在于：在直写曝光设备的吸盘上加装四个标准标记点，在曝光设备的运行工作时间超过预设时间后，通过曝光设备上的高精度相机CCD，分别抓取其中三个标记点的坐标，通过坐标点计算出直写曝光设备X方向与Y方向的正交性误差，根据正交性误差自动计算出直写曝光设备在X方向与Y方向的两个补偿系数，并自动实时监测以及校正曝光设备的正交性；所述正交性误差的计算步骤，具体如下：1)在曝光设备的XY坐标系下，通过曝光设备上的CCD，抓取其中三个标记点的坐标分别记为P₁(X1，Y1),P₂(X2，Y2),P₃(X3，Y3)；2)P₁与P₂之间的向量为P₂与P₃之间的向量为在X方向和Y方向的夹角为θ，其中为两个向量的内积，为两个向量的模的乘积；3)直写曝光设备X与Y方向的正交性误差为|θ‑90°|。