[发明专利]固支梁T型结间接加热式微波信号检测器

摘要

本发明的固支梁T型结间接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经第一端口输入，由第二端口输出到第一间接加热式微波功率传感器，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器；由第三端口和第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口分别接间接加热式微波功率传感器，通道选择开关的第九端口和第十端口接微波频率检测器；从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测。

主权项

1.一种固支梁T型结间接加热式微波信号检测器，其特征在于该微波信号检测器由六端口固支梁耦合器(1)，通道选择开关(2)，微波频率检测器(3)，微波相位检测器(4)级联构成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1‑1)到第三端口(1‑3)、第四端口(1‑4)以及第一端口(1‑1)到第五端口(1‑5)、第六端口(1‑6)的功率耦合度相同，待测信号经第一端口(1‑1)输入，由第二端口(1‑2)输出到第一间接加热式微波功率传感器(5‑1)，由第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)输出到微波相位检测器(4)的第一T型结功率合成器(6‑1)和第二T型结功率合成器(6‑2)，并由第一T型结功率合成器(6‑1)和第二T型结功率合成器(6‑2)接第四间接加热式微波功率传感器(5‑4)和第五接加热式微波功率传感器(5‑5)；由第三端口(1‑3)和第五端口(1‑5)输出到通道选择开关(2)；通道选择开关(2)的第七端口(2‑1)和第八端口(2‑2)分别接第二间接加热式微波功率传感器(5‑2)和第三间接加热式微波功率传感器(5‑3)，通道选择开关(2)的第九端口(2‑3)和第十端口(2‑4)接微波频率检测器(3)的第三T型结功率合成器(6‑3)，由第三T型结功率合成器(6‑3)接第六间接加热式微波功率传感器(5‑6)；从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测；其中，六端口固支梁耦合器(1)由共面波导(10)，介质层(12)，空气层(15)和横跨在其上方固支梁(13)构成；共面波导(10)制作在SiO2层(9)上，锚区(11)制作在共面波导(10)上，固支梁(13)的下方沉积介质层(12)，并与空气层(15)、固支梁(13)共同构成耦合电容结构，两个固支梁(13)之间的共面波导(10)长度为λ/4。