[发明专利]基于悬臂梁的在线式微波相位检测器及检测方法

摘要

基于悬臂梁的在线式微波相位检测器及检测方法，检测器制备在高阻硅衬底上，由共面波导传输线、两个悬臂梁结构、功合器以及两个间接热电式微波功率传感器所构成。其中共面波导传输线包括信号线和地线；悬臂梁结构包括悬臂梁的梁和锚区，悬于信号线上的介质层上方；功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻；间接热电式微波功率传感器包括终端电阻、金属热偶臂、半导体热偶臂、欧姆接触区和直流输出块。本发明检测器结构简单，电路尺寸较小，可实现微波相位的在线式检测。

主权项

1.一种基于悬臂梁的在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底（1）上制作SiO2层（25），在SiO2层（25）上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线（2）对称的悬臂梁结构1和悬臂梁结构2、功合器以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线（2）和地线（3）构成，所述的悬臂梁结构1由悬臂梁1（4）和锚区1（5）构成，所述的悬臂梁结构2由悬臂梁2（6）和锚区2（7）构成，悬臂梁1（4）和悬臂梁2（6）与下方的共面波导传输线的信号线（2）之间设有绝缘介质层（8），悬臂梁结构1的锚区1（5）通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线（24）连接至间接热电式微波功率传感器1，悬臂梁结构2的锚区2（7）通过功合器的第一共面波导传输线的信号线（11）连接至功合器的一个输入端，另一个输入端由功合器的第二共面波导传输线的信号线（12）连接至参考信号的输入端口，功合器的输出端通过功合器的第三共面波导传输线的信号线（13）连接至间接热电式微波功率传感器2。