[发明专利]籽晶夹头及单晶提拉炉在审
申请号: | 201710056545.8 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN108342770A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 李寅锋;温雅楠 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201306 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种籽晶夹头及单晶提拉炉,所述籽晶夹头为透明夹头,所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。本发明的籽晶夹头为透明籽晶头,从引晶阶段开始都可以观察到整个过程,可以及时观测和及时修正引晶直径,确保整个拉晶过程正常进行,保证了晶锭生长的质量;通过在所述籽晶夹头的头部设置气流导向斜面,可以更好的引导炉腔体内气流,减少乱流现象的产生,从而保证晶锭生长的质量。 | ||
搜索关键词: | 籽晶夹头 单晶提拉炉 气流导向 晶锭 引晶 阶段开始 体内气流 头部设置 透明夹 籽晶头 生长 夹头 拉晶 炉腔 乱流 种籽 观测 修正 保证 透明 观察 | ||
【主权项】:
1.一种籽晶夹头,其特征在于,所述籽晶夹头为透明夹头,所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。
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