[发明专利]体声波谐振器、滤波器和体声波谐振器的制造方法有效
| 申请号： | 201710060870.1 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107689781B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;姜仁瑛;申兰姬;孙晋淑 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 包国菊;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种体声波谐振器、滤波器和体声波谐振器的制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在基板之上；压电主体，设置在第一电极上，并包括多个压电层，所述多个压电层中的每个包括具有掺杂材料的氮化铝；第二电极，设置在压电主体上，其中，所述多个压电层中的至少一个是在压应力下形成的受压压电层。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波谐振器，包括：基板；第一电极，设置在基板之上；压电主体，设置在第一电极上，并包括多个压电层，所述多个压电层中的每个包括具有掺杂材料的氮化铝；第二电极，设置在压电主体上，其中，所述多个压电层中的至少一个是在压应力下形成的受压压电层。
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