[发明专利]基于等离子体的制程机台在审
| 申请号： | 201710061655.3 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN107316796A | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 孟庆豪;陈智圣;周银铜;詹炽桦;黄琳清;江煜培 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本揭露提供一种基于等离子体的制程机台，包含外壳与气体分布板。外壳界定出处理室且包含用以接收处理气体的气体入口。气体分布板设置于处理室中且用以在处理室内分布处理气体。气体分布板包含延伸贯穿气体分布板的多个孔洞，且更包含这些孔洞被分组而成的多个区块。这些区块包含第一区块和第二区块。第一区块的孔洞具有第一剖面。第二区块的孔洞具有不同于第一剖面的第二剖面。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 等离子体 机台 | ||
【主权项】：
一种基于等离子体的制程机台，其特征在于，包含：一外壳，界定出一处理室且包含用以接收一处理气体的一气体入口；以及一气体分布板，设置于该处理室中且用以在该处理室内分布该处理气体，其中该气体分布板包含延伸贯穿该气体分布板的多个孔洞，且更包含该些孔洞被分组而成的多个区块，其中该些区块包含一第一区块和一第二区块，且其中该第一区块的该些孔洞具有一第一剖面，且该第二区块的该些孔洞具有不同于该第一剖面的一第二剖面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710061655.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带电粒子显微术中的三维成像
- 下一篇：混合接合半导体晶片的3DIC结构与方法
