[发明专利]基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器

摘要

本发明的基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器，主要由悬臂梁耦合结构、T型结和间接加热式微波功率传感器构成。悬臂梁耦合结构中，两个悬臂梁在CPW中央信号线上方，结构相同，用于耦合部分待测信号，通过锚区与T型结相连，两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si₃N₄介电层，用于防止电学短路。参考信号通过T型结分成两路信号，分别与两路悬臂梁耦合的信号通过T型结合成，T型结的输出端连接到间接加热式微波功率传感器进行功率检测。最后根据两个间接加热式微波功率传感器的热电式输出得到待测信号的相位信息，可实现整个周期内的相位角测量。

主权项

1.一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：相位检测器的实现结构选择高阻Si为衬底，传输线材料为Au，主要由悬臂梁耦合结构（14）、T型结和间接加热式微波功率传感器构成；悬臂梁耦合结构（14）左右对称，由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、悬臂梁（5）、悬臂梁锚区（6）构成，在悬臂梁（5）的下方有一层Si3N4介电层（13）；悬臂梁耦合结构（14）的第三端口（1‑3）和第四端口（1‑4）分别与第一T型结的第八端口（3‑1）和第二T型结的第十一端口（4‑1）相连，参考信号从第三T型结的第五端口（2‑1）输入，第三T型结的第六端口（2‑2）和第一T型结的第九端口（3‑2）相连，第七端口（2‑3）与第二T型结的第十二端口（4‑2）相连，第一T型结的第十端口（3‑3）接第一间接加热式微波功率传感器，第二T型结的第十三端口（4‑3）接第二间接加热式微波功率传感器。