[发明专利]用于高精度网版制作的数字化双面同时直写曝光设备在审
| 申请号： | 201710063890.4 | 申请日： | 2017-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN106873314A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 韩建崴;廖平强;李源;曲鲁杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市优盛科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)44286 | 代理人： | 冯汉桥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高精度网版制作的数字化双面同时直写曝光设备，其特征在于包括主控计算机、设置于曝光基板两侧且能够通过光速扫描曝光基板的光引擎、及能够使曝光基板与光引擎两者产生相对平面运动的移动平台，所述移动平台及光引擎均受主控计算机控制，该光引擎包括光学系统及内设微反射镜阵列的DMD芯片，且两相对应的所述光引擎所发出的光束的光轴重合，并与曝光基板相垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高精度 制作 数字化 双面 同时 曝光 设备 | ||
【主权项】：
用于高精度网版制作的数字化双面同时直写曝光设备，其特征在于：包括主控计算机、设置于曝光基板两侧且能够通过光速扫描曝光基板的光引擎、及能够使曝光基板与光引擎两者产生相对平面运动的移动平台，所述移动平台及光引擎均受主控计算机控制，该光引擎包括光学系统及内设微反射镜阵列的DMD芯片，且两相对应的所述光引擎所发出的光束的光轴重合，并与曝光基板相垂直。
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