[发明专利]包括多边形压电薄膜传感器的泵有效
| 申请号： | 201710064243.5 | 申请日： | 2017-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN107035667B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 马丁·里希特;约瑟·库格尔;克劳斯·海因里希;瓦尔特劳德·希尔;马丁·瓦克勒 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;H02N2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周永红 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层(51)。根据本发明，从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状。另外，所述方法包括通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 多边形 压电 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，所述方法包括：提供包括泵室(102)和泵体(120，170)的泵(100，200，400，500)，其中所述泵室(102)的外圆周与所述泵体(120，170)的外圆周间隔开距离BP，其中所述距离BP在最小位置处至多为300μm；提供压电陶瓷层(51)；从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状；和通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。
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