[发明专利]一种MEMS陀螺仪测试装置、系统和方法有效
| 申请号： | 201710065869.8 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN106643809B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 张珂;罗彬;苟冠鹏;杨荣彬;张剑锋 | 申请（专利权）人： | 成都振芯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS陀螺仪测试装置、系统和方法，装置包括高低温箱（4），所述的高低温箱（4）内部设置有转台台面（3）、驱动电机、温度控制系统、滑环和单/多芯片测试板（1），高低温箱（4）的外部设置有转台控制系统；高低温箱（4）内部还设置有数据采集板（2），数据采集板（2）安装在转台台面（3）上；所述的数据采集板（2）接收来自单/多芯片测试板（1）的模拟输出信号，进行模数转换后将转换后的数字信号通过滑环输出至高低温箱（4）外部。本发明在高低温箱内部设置数据采集板，通过先将被测的单/多芯片的输出信号转换成数字信号，然后再将转换后的数字信号通过滑环传输到上位机，获得误差小、精度高、真实可靠的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 测试 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS陀螺仪测试装置，包括高低温箱（4），所述的高低温箱（4）内部设置有转台台面（3）、温度控制系统、滑环和单/多芯片测试板（1），所述的高低温箱（4）的外部设置有驱动电机和转台控制系统（7），所述的转台控制系统（7）通过驱动电机控制转台台面（3）的转动方向和速率，所述的单/多芯片测试板（1）安装在转台台面（3）上，所述的单/多芯片测试板（1）上设置有芯片夹具，所述的温度控制系统控制高低温箱（4）内部的温度；其特征在于：所述的高低温箱（4）内部还设置有数据采集板（2），数据采集板（2）安装在转台台面（3）上；所述的数据采集板（2）接收来自单/多芯片测试板（1）的模拟输出信号，进行模数转换后将转换后的数字信号通过滑环输出至高低温箱（4）外部。
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