[发明专利]一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法有效
| 申请号： | 201710070731.7 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106862114B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王占山;焦宏飞;钮信尚;何宇;鲍刚华;马彬;张锦龙;程鑫彬 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，将LBO晶体依次执行下述步骤：采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH4OH和H2O2，体积比为NH4OH：H2O2：H2O＝1:8:50；采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；将LBO晶体放置于装有无水乙醇的密闭容器内，对LBO晶体进行超声加热清洗；取出LBO晶体，再次漂洗；在正压容器环境中利用干燥氮气风刀对LBO晶体进行干燥。与现有技术相比，本发明具有清洗效果好，既可以提升LBO晶体镀膜后的抗激光损伤特性，又可以提升其镀膜后的薄膜附着力及抗裂纹特性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lbo 晶体 表面 镀膜 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，将LBO晶体依次执行下述步骤：1)采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；2)采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH4OH和H2O2，体积比为NH4OH：H2O2：H2O＝1:8:50；3)采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；4)将LBO晶体放置于装有无水乙醇的密闭容器内，对LBO晶体进行超声加热清洗；5)取出LBO晶体，采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；6)在正压容器环境中利用干燥氮气风刀对LBO晶体进行干燥。
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