[发明专利]压印装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201710070872.9 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN107085352B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 饭村晶子;伊藤俊树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令I |
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| 搜索关键词： | 压印 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压印装置，其用于通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案，所述压印装置包括：照射器，其被构造为用光照射压印材料；以及控制器，其被构造为控制所述照射器，其中，令Ic为照射压印材料的光的照度，tc为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，所述控制器根据下式来确定照射时间：PD=k×(IC)×tc.]]>
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