[发明专利]一种基于氮化铪的高红外反射耐久多层膜材料有效
| 申请号： | 201710071194.8 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106772730B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;李倩;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/14 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 陈波;郑志强 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于氮化铪的高红外反射耐久多层膜材料，涉及红外反射涂层领域；包括从下到上的金属反射层R‑HfN和介质透射层T‑HfN，所述金属反射层R‑HfN具有高反射率，所述介质透射层T‑HfN是由低折射率透射层low n‑T‑HfN和高折射率透射层high n‑T‑HfN交替6次构成的12层结构的增反的膜系，所述金属反射层R‑HfN和介质透射层T‑HfN的材料均为氮化铪HfNx；该材料在具有高反射率的基础上，同时具有耐摩擦、耐高速粒子撞击、耐腐蚀和耐高温能力，有望在光学反射器件表面和高速固液粒子撞击、高温以及腐蚀液体气体存在的严苛条件下作为高效耐久反射膜使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 基于 氮化 红外 反射 耐久 多层 材料 | ||
【主权项】：
1.一种基于氮化铪的高红外反射耐久多层膜材料，其特征在于，包括从下到上的金属反射层R‑HfN和介质透射层T‑HfN，所述金属反射层R‑HfN具有高反射率，所述介质透射层T‑HfN是由低折射率透射层low n‑T‑HfN和高折射率透射层high n‑T‑HfN交替6次构成的12层结构的增反的膜系，所述金属反射层R‑HfN和介质透射层T‑HfN的材料均为氮化铪HfNx；所述金属反射层R‑HfN中HfNx的x值为1.039，所述低折射率透射层low n‑T‑HfN中HfNx的x值为1.383，所述高折射率透射层high n‑T‑HfN中HfNx的x值为1.334。
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