[发明专利]用于多点扫描显微的设备和方法有效
| 申请号： | 201710073108.7 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN107064082B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫·安胡特;丹尼尔·施韦特;托比亚斯·考夫霍尔德;布克哈德·罗舍尔;斯特凡·威廉 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G02B21/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 鲁山;孙志湧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于多点扫描显微的设备和方法。该设备具有：多色光源；分束设备；第一光学装置，用于提供照射光路，照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或样本中的光斑中；扫描单元；检测单元，用于检测在用单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的被样本辐射的检测光；第二光学装置，用于提供将检测子光束引导到检测单元的检测光路；控制和评价单元，用于控制扫描单元并且用于评价检测单元检测的检测光。所述设备的特征在于，在照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，并且控制和评价单元被设计成控制光束操纵装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多点 扫描 显微 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于多点扫描显微的设备，所述设备具有：多色光源(10)，所述多色光源(10)用于提供至少一个照射光束(18)，分束设备(16)，所述分束设备(16)用于将所述照射光束(18)分束成多个照射子光束(11,…,14)，第一光学装置(30)，所述第一光学装置(30)用于提供照射光路，所述照射光路用于将单独的照射子光束(11,…,14)分别引导并且聚焦到待检验的样本(40)上或所述样本(40)中的光斑(41,…,44)中，扫描单元(38)，所述扫描单元(38)用于在所述样本(40)上方引导所述光斑(41,…,44)，检测单元(D1,…,D4)，所述检测单元(D1,…,D4)用于检测在用所述单独的照射子光束(31,…,34)辐照之后，检测子光束(51,…,54)中的由所述样本(40)辐射的检测光，第二光学装置(50)，所述第二光学装置(50)用于提供检测光路(51,…,54)，所述检测光路(51,…,54)用于将所述检测子光束(51,…,54)引导到所述检测单元(D1,…,D4)，以及控制和评价单元(90)，所述控制和评价单元(90)用于控制所述扫描单元(38)并且用于评价由所述检测单元(D1,…,D4)检测到的检测光，所述设备的特征在于在所述照射子光束(11,…,14)中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应的照射子光束(11,…,14)的光谱组成的可控光束操纵装置(21,22,23,24)，并且所述控制和评价单元(90)被设计成控制所述光束操纵装置(21,…,24)。
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