[发明专利]具有负截面金属结构的SAW谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710073404.7 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN107181471B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李哲和;佐藤隆裕 | 申请（专利权）人： | 天津威盛电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开弹性表面波谐振器。根据本发明的弹性表面波谐振器，包括：压电基板；形成于所述压电基板上部面的具有负截面的多个金属结构物；及包裹所述压电基板上部面和所述多个金属结构物的温度补偿薄膜。根据本发明的弹性表面波谐振器具有对截面的变化迟钝的频率特性，并且，具有较高的反共振Q值特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 截面 金属结构 saw 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种弹性表面波谐振器，其特征在于，包括:压电基板；形成于所述压电基板上部面的具有负截面的多个金属结构物；及包裹所述压电基板上部面和所述多个金属结构物的温度补偿薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津威盛电子有限公司，未经天津威盛电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710073404.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
