[发明专利]切削装置及切削方法有效

专利信息
申请号: 201710073524.7 申请日: 2017-02-10
公开(公告)号: CN107097136B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 松冈大辅;香川真一;定地龙男 申请(专利权)人: TDK株式会社
主分类号: B24B27/06 分类号: B24B27/06;H01L21/78
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种可以减小因对切削痕迹进行摄像而引起的对制造周期的影响的切削装置及切削方法。若设切削刀刃(23)的Y方向位置为Y=0、主轴单元(20)相对于θ工作台(40)的相对的切削分度进给方向为+Y方向、切削分度间距为Yp,则摄像装置(90L)在摄像视野包含工件(10)的存在平面上的由Y=‑(k×Yp)(其中,k是满足k≧0的整数)表示的假想直线的一部分。在切削工序中使工件(10)在X方向上移动时,利用摄像装置(90L),对在该切削工序中形成的切削痕迹进行摄像。
搜索关键词: 切削 装置 方法
【主权项】:
一种切削装置,其特征在于,具备:工件载置用的加工工作台;具有在Y方向上延伸的主轴及安装于所述主轴的切削刀刃的主轴单元;及能够对所述加工工作台上的工件进行摄像的第一摄像装置,所述加工工作台能够在垂直于所述Y方向的X方向上进行相对移动,所述主轴单元和所述第一摄像装置能够在所述Y方向上进行相对移动,所述主轴单元能够在垂直于所述X方向及所述Y方向的双方的Z方向上进行相对移动,在设所述切削刀刃的Y方向位置为Y=0、所述主轴单元相对于所述加工工作台的相对的切削分度进给方向为+Y方向、切削分度间距为Yp时,所述第一摄像装置在摄像视野包含所述工件的存在平面上的由Y=‑(k×Yp)表示的假想直线的一部分,其中,k是满足k≧0的整数。
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