[发明专利]对位标识及其形成方法、玻璃基板及半色调掩模在审
| 申请号： | 201710073921.4 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN106842837A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张思凯;汪栋;万冀豫 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人： | 阚梓瑄,王卫忠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对位标识及其形成方法、玻璃基板及半色调掩模。所述对位标识，包括第一区域，位于所述对位标识的中心区域；以及第二区域，围绕所述第一区域。其中，在所述对位标识的厚度方向上，所述第二区域从所述第一区域凸出。利用根据本发明的对位标识及其形成方法、玻璃基板及半色调掩模，能够防止在对位标识处出现回字形图像，从而使得曝光机能够准确识别对位标识的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 标识 及其 形成 方法 玻璃 色调 | ||
【主权项】：
一种对位标识，包括：第一区域，位于所述对位标识的中心区域；以及第二区域，围绕所述第一区域，其中，在所述对位标识的厚度方向上，所述第二区域从所述第一区域凸出。
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