[发明专利]一种基板的抛光装置在审
| 申请号： | 201710074303.1 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108406476A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张民井;洪耀;毛成飞;曹瑞丰;郭丰;高裕弟;孙剑 | 申请（专利权）人： | 枣庄维信诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B41/06;B24B51/00;B24B47/16;B24B41/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 277000 山东省枣*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种基板的抛光装置，其包括：基座，所述基座支承抛光部，所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫；抛光部，其包括与所述基板接触的抛光板，所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方；驱动部，所述驱动部固定在所述基座上，所述驱动部驱动所述抛光部运动；通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。本发明的基板的抛光装置，采用直线往复运动的形式对ITO表面进行抛光，能够避免采用高速旋转的抛光板引起的过渡磨损并导致PIN HOLE的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 抛光板 抛光装置 抛光部 抛光垫 驱动 直线往复运动 抛光 基板接触 支承 磨损 | ||
【主权项】：
1.一种基板的抛光装置，其包括：基座，所述基座支承抛光部，所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫；抛光部，其包括与所述基板接触的抛光板，所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方；驱动部，所述驱动部固定在所述基座上，所述驱动部驱动所述抛光部运动；其特征在于：通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。
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