[发明专利]X射线靶及具备该X射线靶的X射线产生装置

摘要

本发明的目的在于提供一种X射线靶及具备该X射线靶的X射线产生装置，可以防止照射窗的破裂。X射线靶(4)将支撑照射窗(41)的框架分成靠近照射窗(41)的第1框架(42)及其外侧的第2框架(43)，并分别使用不同的材料。利用热膨胀率为1×10‑6/K的金刚石板(41a)形成照射窗(41)，利用热膨胀率为4.8×10‑6/K的Mo(钼)或热膨胀率为4.3×10‑6/K的W(钨)形成第1框架(42)，利用热膨胀率为16.5×10‑6/K的Cu(铜)形成第2框架(43)。这样，通过以照射窗(41)与第1框架(42)的热膨胀率的差小于照射窗(41)与第2框架(42)的热膨胀率的差的方式而构成，因此可防止因为收缩量的差所引起的照射窗(41)的破裂。

主权项

一种X射线靶，其特征在于包括：照射窗，使靶材成膜于表面；第1框架，与所述照射窗接合，支撑所述照射窗；以及第2框架，未与所述照射窗接合，而与所述第1框架接合，支撑所述第1框架，由金属形成；并且以所述照射窗与所述第1框架的热膨胀率的差小于所述照射窗与所述第2框架的热膨胀率的差的方式而构成。