[发明专利]一种氖气回收提纯的方法及装置有效
| 申请号： | 201710075711.9 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106744750B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王耀亮 | 申请（专利权）人： | 上海跃绅能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201412 上海市奉贤*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺简单、使用方便的从工业排放气体中回收氖气，并提纯、制备高纯度氖气的方法及装置，回收的氖工业尾气过滤去除颗粒杂质后，经过压缩、化学反应除杂、冷却吸附、低温闪蒸后获得高纯度氖气。本发明可以回收半导体厂使用的氖气，采用较便宜的液氮作为冷源，利用高真空和冷屏绝热，利用吸附法和低温精馏法分离氖气中的杂质，用较低的成本，提纯氖气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 提纯 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种氖气回收提纯方法，其特征在于，步骤包括：——将氖工业尾气进行，并过滤去除颗粒杂质；——将氖工业尾气进行压缩；——将压缩的氖工业尾气通过吸附剂进行一级吸附纯化；——吸附纯化后的氖工业尾气进行冷却至‑270℃至‑200℃，然后在‑203℃温度下进行闪蒸；获得低温氖气；——低温氖气通过第二吸附剂进行二级吸附纯化，获得纯氖气。
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