[发明专利]一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取方法和装置有效
| 申请号： | 201710075750.9 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106844998B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 刘志斌;徐国刚;陈志聪;严志华 | 申请（专利权）人： | 刘志斌 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 215211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取方法和装置。其中，所述方法包括：获得材料片的性能参数的测量值，根据所述性能参数的测量值确定所述材料片的均匀性参数；其中，所述材料片用于形成所述薄膜器件，所述均匀性参数反应所述薄膜器件的性能指标。本发明实施例提供的技术方案，根据材料片的均匀性参数可以清楚地了解目前薄膜材料或者集成器件处于产业化工艺制程开发的哪个阶段，为产品的开发提供指导方向。也可根据均匀性参数判断薄膜材料和集成器件的产业化可行性，为电子产品从核心技术开发到产业化开发提供了指标参数，利于更加科学和准确判定电子薄膜材料和集成器件产业化的可行性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 器件 产业化 生产 可行性 参数 获取 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取方法，其特征在于，包括：获得材料片的性能参数的测量值；根据所述性能参数的测量值确定所述材料片的均匀性参数；其中，所述材料片用于形成所述薄膜器件，所述均匀性参数反应所述薄膜器件的性能指标。
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