[发明专利]减压干燥装置和方法有效
| 申请号： | 201710078029.5 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN108253733B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 尹沧老;崔奉镇 | 申请（专利权）人： | 得八益十意恩至 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 李柱天;陆华 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的减压干燥方法包括步骤：将待处理对象装载到干燥室；关闭干燥室；将干燥气体提供到干燥室，同时通过低于大气压的第一减压压力第一次将干燥室内部排气和减压；当清洗溶液完全被凝结在待处理对象表面的干燥气体替代时，停止提供干燥气体；第二次将干燥室的内部排气和减压；停止第二次排气和减压步骤，并将空气或惰性气体提供到干燥室；从干燥室卸载待处理对象。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥方法，包括以下步骤：将待处理对象装载到干燥室中，其中，清洗溶液存在于待处理对象的表面；关闭干燥室；将干燥气体提供到干燥室中以将干燥气体凝结到待处理对象表面，同时通过低于大气压的第一减压压力第一次将干燥室内部排气和减压，使得清洗溶液能够溶解并被凝结的干燥气体替代；当清洗溶液完全被凝结在待处理对象表面的干燥气体替代时，停止提供干燥气体；通过低于第一减压压力的第二减压压力第二次将干燥室的内部排气和减压；停止第二次排气和减压步骤，并将空气或惰性气体提供到干燥室，使干燥室内部恢复大气压；以及从干燥室卸载待处理对象。
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